壓阻式傳感器仍然是基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)，Celtron稱重傳感器在半導(dǎo)體材料(一般為N 型硅單晶)稱重傳感器基片上選擇一定的晶向位置，利用集成電路工藝制成擴(kuò)散電阻，作為測(cè) 量傳感元件，基片直接作為測(cè)量敏感元件(甚至有的可包括某些信號(hào)調(diào)節(jié)電路)，亦稱為擴(kuò)散型壓阻式傳感器或固態(tài)壓阻式傳感器。擴(kuò)散電阻在基片上組成測(cè)量電 橋，當(dāng)基片受應(yīng)力作用產(chǎn)生變形時(shí)，各擴(kuò)散電阻臂阻值發(fā)生變化，電橋產(chǎn)生相應(yīng)的 不平衡輸出。

　　壓阻式Celtron稱重傳感器主要用于測(cè)量壓力和加速度。

　　1、壓阻式壓力傳感器

　　壓阻式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)其核心部件是一圓形的N型硅 膜片，Celtron LPS-1kg 單點(diǎn)式稱重傳感器在膜片上擴(kuò)散四個(gè)阻值相等的P型電阻，構(gòu)成平衡電橋。Celtron稱重傳感器四個(gè)電阻的配置 位置按膜片上徑向應(yīng)力和切向應(yīng)力的分布情況確定。硅膜片周邊 用硅環(huán)固定，其下部是與被測(cè)系統(tǒng)相連的高壓腔，上部為低壓腔，通常與大氣相通。在被測(cè)壓力P作用下，膜片產(chǎn)生應(yīng)力和應(yīng)變，擴(kuò)散電阻由于壓阻 效應(yīng)其電阻值發(fā)生相對(duì)變化。

　　壓阻式壓力傳感器的應(yīng)變片，其工作溫度可提高至300℃左右，包括壓敏電橋、溫度補(bǔ)償電路、差分放 大及感溫元件在內(nèi)的集成式壓力傳感器早已問(wèn)世。石油天然氣開發(fā)中的PPS系 列井下電子壓力計(jì)，采用硅一藍(lán)寶石傳感器，工作溫度可達(dá)近200℃，且具有溫度測(cè) 量、數(shù)據(jù)采集和存儲(chǔ)功能的應(yīng)變片，Celtron MBB-75kg 雙剪切梁式稱重傳感器其工作溫度可提高至300℃左右，包括壓敏電橋、溫度補(bǔ)償電路、差分放 大及感溫元件在內(nèi)的集成式壓力傳感器早已問(wèn)世。石油天然氣開發(fā)中的PPS系 列井下電子壓力計(jì)，采用硅一藍(lán)寶石傳感器，工作溫度可達(dá)近200℃，且具有溫度測(cè) 量、數(shù)據(jù)采集和存儲(chǔ)功能。

　　2、壓阻式加速度傳感器

　　壓阻式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖，它直接用單晶硅作為懸臂梁3，梁的根部擴(kuò)散四個(gè)電阻1構(gòu)成測(cè)量電橋，自由端裝有慣性質(zhì)量13，就構(gòu)成了微小的整體型加速度傳感器。在結(jié)構(gòu)上玻璃一硅片一玻璃三層結(jié)構(gòu)。中間一層是該傳感器的核心部件，它是一片很薄的硅片懸臂梁，Celtron LOC-250kg 單點(diǎn)式稱重傳感器四周由厚的(約200腳)凸緣邊框圍繞著，邊框剛性地支承著懸臂。上、下兩片玻璃的安裝面平行于梁表面，每片上都蝕刻出凹坑，以構(gòu)成梁和慣性質(zhì)量運(yùn)動(dòng)所需的空間。慣性質(zhì)量可以是高密度的物質(zhì)如金等，也可以是硅梁本身。

　　當(dāng)Celtron稱重傳感器受到圖示方向加速度a時(shí)，質(zhì)量塊m的慣性力作用在梁上，產(chǎn)生彎 矩和應(yīng)力，四個(gè)擴(kuò)散電阻的阻值發(fā)生變化。應(yīng)力與加速度成正比，所以電阻相對(duì)變化與加速度成正比。將這四只電阻接成差動(dòng)電橋，即可測(cè)出加速度a。為保證輸出線性度，懸臂梁根部的應(yīng)變不要超過(guò)400一500陣。