傳感器與傳感器技術的發(fā)展趨勢
隨著現(xiàn)代科學技術的發(fā)展，作為“五官”(感覺)的傳感器遠遠趕不上作為“大 腦”的計算機的發(fā)展速度，信息采集技術滯后于信息處理技術。特別是現(xiàn)代測控系 統(tǒng)自動化、智能化的發(fā)展，要求傳感器的準確度高、可靠性高、穩(wěn)定性好，而且具有 一定的數(shù)據(jù)處理能力和自檢、自校、自補償能力，有些場合還需要能同時測量多個 參數(shù)的體積小的多功能傳感器。現(xiàn)代傳感器中主要分為：稱重傳感器、壓力傳感器、扭矩傳感器、霍爾傳感器、流量傳感器、位移傳感器、速度傳感器、加速度傳感器等系列；傳感器與傳感器技術的發(fā)展水平已成為判斷一個 國家科學技術現(xiàn)代化程度與生產(chǎn)水平高低的重要依據(jù)，也是衡量一個國家綜合實 力的重要標志。傳感器的研究、開發(fā)和應用技術受到各國政府和科技人員的高度重視。
目前，傳感器與傳感器技術的主要發(fā)展趨勢:一是開展基礎研究，探索新理論， 發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象，開發(fā)傳感器的新材料和新工藝;二是實現(xiàn)傳感器的集成化、多功能化 和智能化。
發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象：
傳感器工作的基本原理就是各種物理現(xiàn)象、化學反應和生物效應，所以發(fā)現(xiàn)新 現(xiàn)象與新效應是發(fā)展傳感器技術、研制新型傳感器的重要理論基礎。例如日本夏 普公司利用超導技術研究成功高溫超導磁傳感器，是傳感器技術的重大突破，其靈 敏度比霍爾器件高，僅次于超導量子干涉器件(SQUID)，而其制造工藝遠比超導 量子干涉器件簡單，它可用于磁成像技術，具有廣泛的推廣價值。
開發(fā)新材料：
新型傳感器敏感元件材料是研制新型傳感器的重要物質基礎，因此必須開發(fā) 新型的傳感器敏感元件，特別是物性型敏感材料。例如半導體氧化物可以制造各 種氣體傳感器;而陶瓷傳感器工作溫度遠高于半導體;光導纖維的應用是傳感器材 料的重要突破，用它研制的傳感器與傳統(tǒng)的傳感器相比較具有其突出特點;高分子 聚合物材料作為傳感器敏感材料的研究，已引起國內外學者極大興趣。
采用微細加工技術：
半導體技術中的加工方法如氧化、光刻、擴散、沉積、平面電子工藝、各向異性 腐蝕以及蒸鍍、濺射薄膜工藝都可引進用于傳感器制造，因而產(chǎn)生了各式各樣新型 傳感器。例如，利用半導體技術制造出壓阻式傳感器;利用晶體外延生長工藝制造 出硅一藍寶石井下數(shù)字壓力傳感器;利用薄膜工藝制造出快速響應的氣敏傳感器; 利用各向異性腐蝕技術進行高精度三維加工，在硅片上構成孔、溝、棱、錐、半球等 各種形狀研制出全硅諧振式壓力傳感器。
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